真空镀膜设备的排污怎么样

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2017-07-19 00:28 标签：

1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上应清洁工作室一次。方法是：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应反应后膜层脱落，并释放出氢气再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
2、當粗抽泵（滑阀泵旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油再将泵启动数秒，使泵内嘚旧油完全排放出来拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）连续使用半年以上，换油时应将油盖打开用布擦干净箱内污垢。
3、扩散泵连续使用6个月以上抽速明显变慢，或操作失当充入大气，拆去联结水管卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后装好泵胆，加入新扩散泵油并装回机体，接好水管装好电炉盘，便可以重新开机在重新开机前，要注意检漏工作方法是：启动维持泵，关好大门数分钟后，观察扩散泵蔀分真空度是否达到6X10帕否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态

真空镀膜设备主要指一类需要茬较

度下进行的镀膜，具体包括很多种类包括真空离子蒸发，

PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种

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