微纳3d金色金属材质参数3D打印技术应用：AFM探针

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2020-12-23 14:40 标签： 3d金色金属材质参数

【摘要】：针对半导体器件微结構侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进行了标定,获得了喇叭口针尖与样品侧壁横向接近过程中探针扭转振幅的變化曲线.利用该系统对栅格标样侧壁局部形貌进行了线扫描和面扫描,所得轮廓具有较好的重复性,且测量所得形貌特征与常规轻敲模式扫描結果一致,表明本文所述3D-AFM系统及工作模式能够用于微结构侧壁形貌的检测.


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孙涛,闫永达,夏加飞,梁迎春,程凯,董申;[J];微纳电子技术;2003年Z1期

AFM：可循环光固化3D打印热塑性材料

莋为一种新兴的快速成型技术光固化3D打印由于具有高打印精度和高打印效率，引起了广泛的关注光固化3D打印多采用双官能或多官能树脂作为单体，以满足打印过程中快速的液固转变所得制件多为热固性聚合物，损坏后无法回收利用易造成资源浪费和环境污染等问题。开发适用于光固化3D打印并能循环打印的材料将有助于实现树脂的高效利用然而现有的动态聚合物只能通过加热或外加溶剂等方式回收，无法满足光固化3D打印条件

可循环光固化3D打印热塑性聚合物中国科学院化学研究所赵宁研究员、徐坚研究员课题组以单官能树脂作为单體开发了光固化3D打印用热塑性聚合物，并利用热塑性聚合物溶解于其单体这一特性实现了打印制件的回收与再打印同时制件的热塑性有助于其再变形和焊接，可提高打印效率也能够用于制备可回收的复合材料，实现了功能填料的高效循环利用相关论文在线发表在Advanced Functional

       相关笁作得到了国家重点研发计划、国家自然科学基金、中科院前沿战略计划等项目的资助。

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